ড্রাই এচিং বনাম. ওয়েট এচিং

ভূমিকা

এচিং উপাদান তৈরির একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের মতো শিল্পে, ইলেকট্রনিক্স, এবং মাইক্রোফেব্রিকেশন. প্রক্রিয়াটির মধ্যে নিদর্শন বা কাঠামো তৈরি করতে একটি স্তর থেকে উপাদান অপসারণ করা জড়িত. দুটি প্রধান এচিং পদ্ধতি সাধারণত ব্যবহৃত হয়: শুকনো এচিং এবং ভেজা এচিং. প্রতিটি পদ্ধতির তার সুবিধা আছে, অসুবিধা, এবং নির্দিষ্ট ব্যবহারের ক্ষেত্রে. এই ব্লগটি শুকনো এচিং এবং ওয়েট এচিং এর মধ্যে মূল পার্থক্যগুলি অন্বেষণ করবে৷, তাদের সুবিধা, অ্যাপ্লিকেশন, এবং কিভাবে একটি নির্দিষ্ট প্রকল্পের জন্য উপযুক্ত পদ্ধতি নির্বাচন করতে হয়.

1. এচিং ওভারভিউ এর প্রকার: ড্রাই এচিং বনাম. ওয়েট এচিং

এচিংকে বিস্তৃতভাবে দুই প্রকারে ভাগ করা যায়: শুকনো এচিং এবং ভেজা এচিং. প্রত্যেকের নিজস্ব পদ্ধতি আছে, প্রক্রিয়া, সুবিধা, এবং অসুবিধাগুলি.

শুকনো এচিং প্রক্রিয়া

ড্রাই এচিং আজকাল সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত এচিং পদ্ধতি. এটি উচ্চ-শক্তি ব্যবহার জড়িত, একটি সাবস্ট্রেটের নির্দিষ্ট পৃষ্ঠকে খোদাই করার জন্য নিরপেক্ষভাবে চার্জ করা আয়ন. এই আয়নগুলি একটি রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ব্যবহার করে প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসগুলিকে প্লাজমাতে রূপান্তর করে উত্পন্ন হয় (আরএফ) ক্ষেত্র, তাই "প্লাজমা এচিং" শব্দটি।

তবে, সমস্ত শুকনো এচিং কৌশল প্লাজমা ব্যবহার করে না. কিছু পদ্ধতি বিভিন্ন পদ্ধতি ব্যবহার করে.

প্রক্রিয়া বজায় রাখার জন্য, প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাসের ক্রমাগত সরবরাহ — যেমন আর্গন, অক্সিজেন, হিলিয়াম, এবং নাইট্রোজেন-প্রয়োজনীয় যাতে আরএফ ক্ষেত্র ধারাবাহিকভাবে তাদের প্লাজমাতে রূপান্তর করতে পারে.

ড্রাই এচিং ভেজা এচিং এর চেয়ে পছন্দনীয় কারণ এটি কম বর্জ্য উৎপন্ন করে এবং কম রাসায়নিক ব্যবহার করে. অতিরিক্তভাবে, এটি আইসোট্রপিক এবং অ্যানিসোট্রপিক এচিং উভয়ের জন্য অনুমতি দেয়, এচিং নির্ভুলতার উপর বৃহত্তর নিয়ন্ত্রণ সহ যন্ত্রবিদদের প্রদান.

ড্রাই এচিং এর প্রকারভেদ

• প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন এচিং (আরআইই): RIE উপাদান অপসারণ করার জন্য রাসায়নিক বিক্রিয়ার সাথে শারীরিক স্পটারিংকে একত্রিত করে. এটি জরিমানা তৈরি করার জন্য বিশেষভাবে দরকারী, উচ্চ-আদর্শ-অনুপাত কাঠামো.
• স্প্লাটার এচিং/আয়ন মিলিং: এই পদ্ধতিটি শারীরিকভাবে উপাদান অপসারণ করতে আয়ন বোমাবাজি ব্যবহার করে, প্রায়ই ধাতু এবং নিরোধক খোঁচা জন্য নিযুক্ত করা হয়.
• গভীর প্রতিক্রিয়াশীল আয়ন এচিং (তিন): DRIE গভীর তৈরি করার জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়, উচ্চ-আদর্শ-অনুপাত কাঠামো, যেমন MEMS এ পাওয়া যায় (মাইক্রো-ইলেক্ট্রো-মেকানিক্যাল সিস্টেম).

শুষ্ক এচিং এর সুবিধা এবং অসুবিধা

1. সুবিধা:

• উচ্চ দিকনির্দেশক নিয়ন্ত্রণ: শুকনো এচিং খুব সুনির্দিষ্ট এবং উল্লম্ব পার্শ্বওয়াল তৈরি করতে পারে.
• আরও ভালো রেজোলিউশন: সূক্ষ্ম বিবরণ এবং উচ্চ-দৃষ্টি-অনুপাত কাঠামো তৈরির জন্য উপযুক্ত.
• পাশ্বর্ীয় এচিং হ্রাস: এটি সংলগ্ন উপকরণগুলির অবাঞ্ছিত খোদাইকে হ্রাস করে.
• মাল্টিলেয়ার স্ট্রাকচারের জন্য উপযুক্ত: একটি একক স্তরে একাধিক উপকরণের সাথে কাজ করার সময় শুকনো এচিং প্রায়শই ব্যবহৃত হয়.

2. অসুবিধাগুলি:

• উচ্চ ব্যয়: বিশেষ সরঞ্জাম এবং একটি নিয়ন্ত্রিত পরিবেশ প্রয়োজন.
• জটিল সেটআপ: সরঞ্জাম পরিচালনা এবং রক্ষণাবেক্ষণের জন্য আরও প্রযুক্তিগত দক্ষতা প্রয়োজন.
• সম্ভাব্য ক্ষতি: এটি আয়ন বোমাবর্ষণের মাধ্যমে সাবস্ট্রেটের শারীরিক ক্ষতি করতে পারে.

ভেজা এচিং প্রক্রিয়া

ওয়েট এচিং তরল সমাধান ব্যবহার করে, এচ্যান্টস নামে পরিচিত, উপাদান অপসারণের জন্য মাধ্যম হিসাবে. এই সমাধান, যেমন হাইড্রোফ্লোরিক অ্যাসিড এবং হাইড্রোক্লোরিক অ্যাসিড, অত্যন্ত ক্ষয়কারী এবং কার্যকরভাবে সাবস্ট্রেট উপাদান দ্রবীভূত. সাবস্ট্রেটের উদ্দেশ্যযুক্ত এলাকাগুলি সংরক্ষণ করা, প্রতিরক্ষামূলক মুখোশগুলি অক্সাইডের মতো এচ-প্রতিরোধী উপাদান থেকে তৈরি, ক্রোমিয়াম, বা সোনা প্রয়োগ করা হয়.

প্রক্রিয়াটি তুলনামূলকভাবে সহজ: মুখোশযুক্ত সাবস্ট্রেটটি এচ্যান্টের সংস্পর্শে আসে, যা তারপর অরক্ষিত স্তরগুলিকে দ্রবীভূত করে. পর্যাপ্ত এক্সপোজার সহ, সাবস্ট্রেটের শুধুমাত্র সুরক্ষিত অংশগুলি অক্ষত থাকে.

যদিও ওয়েট এচিং এর আইসোট্রপিক প্রকৃতি বিশেষজ্ঞদের মধ্যে এর ব্যবহার হ্রাসের দিকে পরিচালিত করেছে, কেউ কেউ প্রক্রিয়াটিকে আরও অ্যানিসোট্রপিক করার কৌশল তৈরি করেছেন, যার ফলে এর উপযোগিতা বৃদ্ধি পায়.

ওয়েট এচিং এর প্রকারভেদ

• ডুবানোর পদ্ধতি: ভিজা এচিং এর সহজতম আকারে, সাবস্ট্রেটগুলিকে একটি রাসায়নিক দ্রবণে নিমজ্জিত করা হয় যা বেছে বেছে উপাদানটিকে খোদাই করে.
• স্পিন এবং স্প্রে পদ্ধতি: এই পদ্ধতিতে একটি স্পিনিং সাবস্ট্রেটের উপর এচিং দ্রবণ স্প্রে করা জড়িত, একটি আরো নিয়ন্ত্রিত এচিং প্রক্রিয়া প্রদান.

ওয়েট এচিং এর সুবিধা ও অসুবিধা

1. সুবিধা:

• সরলতা: কম পরিশীলিত সরঞ্জাম প্রয়োজন এবং সেট আপ করা সহজ.
• কম খরচ: বাস্তবায়ন এবং বজায় রাখা সস্তা.
• বহুমুখিতা: উপকরণের বিস্তৃত পরিসরের জন্য দরকারী এবং বড় সাবস্ট্রেটগুলি পরিচালনা করতে পারে.

2. অসুবিধাগুলি:

• দিকনির্দেশক নিয়ন্ত্রণের অভাব: আইসোট্রপিক এচিং এর ফলাফল, যা পার্শ্বীয় মাত্রাকে প্রভাবিত করতে পারে.
• স্লোয়ার এচিং রেট: সাধারণত শুকনো এচিং প্রক্রিয়ার মতো দ্রুত নয়.
• কম নির্ভুলতা: জরিমানা তৈরি করার জন্য আদর্শ নয়, উচ্চ-আদর্শ-অনুপাত কাঠামো.

2. ড্রাই এচিং এবং ওয়েট এচিং এর মধ্যে পার্থক্য কি??

প্রাথমিক পার্থক্য হল এচিং এর জন্য ব্যবহৃত মাধ্যম এবং ফলস্বরূপ এচ প্রোফাইলের মধ্যে:

• শুকনো এচিং সাধারণত অ্যানিসোট্রপিক হয় এবং একটি স্তর থেকে উপাদান অপসারণ করতে একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশে প্লাজমা বা আয়ন বিম ব্যবহার করে. ড্রাই এচিং এচিং প্রোফাইলের উপর ভালো নিয়ন্ত্রণ প্রদান করে, সূক্ষ্ম বিবরণ এবং উচ্চ নির্ভুলতা প্রয়োজন অ্যাপ্লিকেশনের জন্য এটি উপযুক্ত করে তোলে.
• ওয়েট এচিং isotropic হয়, তরল রাসায়নিক ব্যবহার করে, এবং অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য আরও উপযুক্ত যেখানে সমস্ত দিক থেকে অভিন্ন অপসারণ প্রয়োজন৷. ভেজা এচিং, যখন আরো খরচ-কার্যকর, কম সুনির্দিষ্ট হওয়ার প্রবণতা এবং অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য আরও উপযুক্ত যেখানে উচ্চ নির্ভুলতা ততটা গুরুত্বপূর্ণ নয়.

3. এচিং পদ্ধতি বাছাই করার সময় যে বিষয়গুলো বিবেচনা করতে হবে

একটি এচিং পদ্ধতি নির্বাচন করার সময়, একটি প্রদত্ত অ্যাপ্লিকেশনের জন্য সর্বোত্তম ফলাফল নিশ্চিত করতে বেশ কয়েকটি বিষয় বিবেচনা করা আবশ্যক. এই অন্তর্ভুক্ত:

সিলেক্টিভিটি

সিলেক্টিভিটি বলতে একটি উপাদান অপসারণ করার জন্য এচিং প্রক্রিয়ার ক্ষমতা বোঝায় যখন অন্য উপাদানটিকে তুলনামূলকভাবে প্রভাবিত না করে. মাল্টিলেয়ার উপকরণের সাথে কাজ করার সময় একটি অত্যন্ত নির্বাচনী এচ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ, যেখানে অন্যদের ক্ষতি না করে শুধুমাত্র নির্দিষ্ট স্তরগুলি অপসারণ করার জন্য সুনির্দিষ্ট এচিং প্রয়োজন. যেমন সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে.

এচিং রেট

এচিং রেট হল প্রতি ইউনিট সময় এচ করা উপাদানের বেধ. এটির একটি প্রতিশব্দ হল এচিং গতি. অপারেটররা প্রতি মিনিটে ন্যানোমিটারে এটি পরিমাপ করে (nm/মিনিট) বা প্রতি মিনিটে মাইক্রোমিটার (µm/মিনিট). যে হারে উপাদানটি সরানো হয় তা প্রক্রিয়াটির দক্ষতাকে প্রভাবিত করতে পারে. উচ্চ-ভলিউম উৎপাদনের জন্য একটি দ্রুত এচ রেট বাঞ্ছনীয় হতে পারে, তবে এটি অবশ্যই সুনির্দিষ্টতা এবং নিয়ন্ত্রণের প্রয়োজনের বিরুদ্ধে ভারসাম্যপূর্ণ হতে হবে.

এচিং অভিন্নতা

অভিন্নতা নিশ্চিত করে যে খোদাই করা প্যাটার্ন সমগ্র পৃষ্ঠ জুড়ে সামঞ্জস্যপূর্ণ. এটি এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে বিশেষভাবে গুরুত্বপূর্ণ যেখানে মাত্রিক নির্ভুলতা গুরুত্বপূর্ণ, যেমন মাইক্রোইলেক্ট্রনিক ডিভাইস তৈরিতে.

অন্যান্য বিবেচনা

• আইসোট্রপিক এচিং: এই ধরনের এচিং সব দিক থেকে উপাদানকে সমানভাবে সরিয়ে দেয়, যা বৃত্তাকার বা আন্ডারকাট বৈশিষ্ট্য তৈরি করার জন্য উপযুক্ত. তবে, এই ফলাফল সঠিক নয়, এবং এর নির্ভুলতার কারণে স্তরগুলিতে আন্ডারকাট হতে পারে যা সরানোর জন্য নয়.
• অ্যানিসোট্রপিক এচিং: এই পদ্ধতিটি নির্বাচনীভাবে পৃষ্ঠের লম্ব দিক থেকে উপাদান অপসারণ করে, উল্লম্ব দেয়াল এবং গভীর পরিখা তৈরির অনুমতি দেয়. এটি এচিং এর আরও সঠিক ফর্ম এবং সাবস্ট্রেটের উপর বৃত্তাকার প্যাটার্ন তৈরি করার জন্য কাজ করে.

5. উপসংহার

শুকনো এচিং এবং ভেজা এচিং এর মধ্যে নির্বাচন করা প্রয়োগের নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে, যেমন নির্ভুলতা, ব্যয়, এবং থ্রুপুট. শুষ্ক এচিং উচ্চ-নির্ভুলতা প্রয়োগের জন্য আদর্শ, যখন ভিজা এচিং বড় আকারের জন্য আরও উপযুক্ত, সাশ্রয়ী উৎপাদন. এই পদ্ধতিগুলির মধ্যে পার্থক্য বোঝা নির্মাতা এবং প্রকৌশলীদের তাদের প্রয়োজনের জন্য সর্বোত্তম পদ্ধতি নির্বাচন করতে সহায়তা করে.

বিষয়বস্তু রেফারেন্স：https://en.wikipedia.org/wiki/Etching

6. FAQS

 

প্রশ্ন: কোন এচিং পদ্ধতিটি ভাল পছন্দ: শুকনো এচিং বা ভেজা এচিং?

ক: পছন্দ আবেদনের নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে. শুষ্ক এচিং উচ্চ-নির্ভুল অ্যাপ্লিকেশনের জন্য পছন্দ করা হয় যেখানে অ্যানিসোট্রপিক এচিং এবং সূক্ষ্ম নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন, যেমন সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশনে. ওয়েট এচিং এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য আরও উপযুক্ত যেগুলির জন্য আইসোট্রপিক এচিং এবং সহজতর প্রয়োজন, খরচ-কার্যকর সেটআপ, যেমন কিছু PCB উৎপাদন প্রক্রিয়ায়.

প্রশ্ন: দুটি এচিং প্রক্রিয়ার মধ্যে কোনটি বেশি সাশ্রয়ী?

ক: ওয়েট এচিং এর সহজ সেটআপ এবং কম অপারেশনাল খরচের কারণে সাধারণত আরো সাশ্রয়ী হয়. শুকনো এচিং সরঞ্জামগুলি আরও ব্যয়বহুল এবং একটি নিয়ন্ত্রিত ভ্যাকুয়াম পরিবেশ প্রয়োজন, যা সামগ্রিক খরচ যোগ করে. তবে, খরচ-কার্যকারিতা উৎপাদনের আয়তন এবং প্রয়োজনীয় খোদাইয়ের জটিলতার উপর নির্ভর করে পরিবর্তিত হতে পারে.

প্রশ্ন: লেজার এচিং এবং লেজার খোদাই মধ্যে পার্থক্য কি??

ক: লেজার এচিং সাধারণত একটি নকশা বা টেক্সট তৈরি করতে একটি পৃষ্ঠ থেকে উপাদান অপসারণ প্রক্রিয়া বোঝায়, প্রায়ই চিহ্নিত করার উদ্দেশ্যে. লেজার খোদাই, অন্যদিকে, গভীরতর এবং উপাদানের মধ্যে একটি বিচ্ছিন্ন এলাকা তৈরি করে, প্রায়ই স্থায়ী লেবেল বা সজ্জা জন্য ব্যবহৃত.

প্রশ্ন: ওয়েট এচিং কি অ্যানিসোট্রপিক করা যায়?

ক: যদিও ওয়েট এচিং সহজাতভাবে আইসোট্রপিক, এটি আরও অ্যানিসোট্রপিক করার জন্য কিছু কৌশল ব্যবহার করা যেতে পারে. উদাহরণস্বরূপ, তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট বা বিশেষ এচ্যান্ট মিশ্রণ ব্যবহার করে বিভিন্ন দিকে এচিং হারকে প্রভাবিত করতে পারে. তবে, ড্রাই এচিং এর সাথে তুলনীয় সত্যিকারের অ্যানিসোট্রপি অর্জন করা চ্যালেঞ্জিং রয়ে গেছে.