Құрғақ vs. Ылғал ішу: Айырмашылықтар, Жамандық, және қосымшалар

Мазмұн көрсету

Кіріспе

Материалдарды жасау - бұл материалдық өндірістегі сыни процесс, әсіресе жартылай өткізгіш өндіріс сияқты салаларда, электроника, және микрофабарландыру. Процесс үлгіні немесе конструкцияларды құру үшін субстраттан алынған материалдарды алуды қамтиды. Екі негізгі әдісі жиі қолданылады: Құрғақ ішу және дымқыл ішу. Әр әдіспен оның артықшылықтары бар, Кемшіліктері, және нақты пайдалану жағдайлары. Бұл блог құрғақ лақтырған және дымқыл иттер арасындағы негізгі айырмашылықтарды зерттейді, олардың артықшылықтары, қолданбалар, Нақты жобаның тиісті әдісін қалай таңдауға болады.

1. Шолу түрлері: Құрғақ vs. Ылғал ішу

Пешті екі түрге бөлуге болады: Құрғақ ішу және дымқыл ішу. Олардың әрқайсысының әдістері бар, Процесс, Артықшылықтары, және кемшіліктер.

Құрғақ креативті процесс

Құрғақ креатинг - бұл бүгінде ең көп қолданылатын эстрадтау әдісі. Бұл жоғары энергияны пайдалануды қамтиды, Бейтарап зарядталған иондар субстраттың нақты бетін алу үшін. Бұл иондар реактивті газдарды рентгендік деңгейге айналдыру арқылы плазмаға айналдыру арқылы жасалады (Радиден) дала, Демек, «плазмалық игеру» термині.

Дегенмен, Құрғақ мөлшерде құрғақ техникалар плазманы пайдаланбайды. Кейбір әдістер әртүрлі тәсілдер қолданады.

Процесті сақтау үшін, Аргон сияқты реактивті газдардың үздіксіз жабдықталуы, оттегі, гелий, және азот - қажет, сондықтан RF өрісі оларды плазмаға айналдыруы мүмкін.

Құрғақ лақтыру дымқыл ішуден тұрады, өйткені ол аз қалдықтар шығарады және аз химиялық заттарды қолданады. Қосымша, Бұл изотропты және антиозотропты екіге де мүмкіндік береді, Машинистерді дәлдікпен бақылаумен қамтамасыз ету.

Құрғақ мөлшерлеу түрлері

Реактивті ион алу (Ри): Ри материалды химиялық реакциялармен біріктіреді. Бұл әсіресе айыппұлды құру үшін пайдалы, Жоғары бағыттағыш-қатынас-қатынас құрылымдары.
Ионы ұнтақтау / ионы ұнтақтау: Бұл әдіс ион бомбалауын физикалық түрде алып тастау үшін пайдаланады, металдар мен оқшаулағыштарды алу үшін жиі жұмыс істейді.
Терең реактивті ион (Үш): Дриор терең құру үшін оңтайландырылған, Жоғары бағыттағыш-қатынас-қатынас құрылымдары, мысалы, мемсурандардан табылғандар (Микроэлектрлік жүйелер).

Құрғақ ішектің артықшылықтары мен кемшіліктері

Артықшылықтары:

Жоғары бағытты бақылау: Құрғақ мөлшерлеу өте дәл және тік бүйірлер шығарады.
Жақсы шешім: Ақырғы бөлшектер мен жоғары санатқа қатынасы құрылымдарын жасауға жарамды.
Қайта жылжу: Ол іргелес материалдарды қажетсіз алмастырады.
Көп қабатты құрылымдарға жарамды: Құрғақ креатинг жиі бір субстратта бірнеше материалдармен жұмыс жасау кезінде қолданылады.

Кемшіліктері:

Жоғары шығындар: Мамандандырылған жабдықтар мен бақыланатын орта қажет.
Кешенді орнату: Жабдықтарды пайдалану және жүргізу үшін қосымша техникалық сараптама қажет.
Ықтимал шығын: Бұл субстратқа ион бомбалау арқылы физикалық зақым келтіруі мүмкін.

Ылғал лете жасау процесі

Ылғалды ерітіну сұйық ерітінділерді пайдаланады, Этчанттар деп аталады, Материалды кетірудің құралы ретінде. Бұл шешімдер, мысалы, гидроторлы қышқыл және тұз қышқылы, жоғары коррозиялық және субстрат материалын тиімді түрде ерітеді. Субстраттың болжалды жерлерін сақтау, Оксид тәрізді майға төзімді материалдардан жасалған қорғаныс маскалары, хромий, немесе алтын қолданылады.

Процесс салыстырмалы түрде қарапайым: Маскалы субстрат этченге ұшырайды, содан кейін қорғалмаған қабаттарды ерітеді. Тиісті әсері бар, Тек субстраттың қорғалған бөлімдері өзгеріссіз қалады.

Ылғал Эчингтің изотропты табиғаты мамандар арасында оны қолданудың төмендеуіне әкелді, Кейбіреулер процесті анизотропты көбірек жасау әдістерін жасады, Осылайша, оның пайдалылығын арттыру.

Ылғал алу түрлері

Жұптау әдісі: Ылғалмен жуудың қарапайым түрінде, Субстраттар материалды іріктей алатын химиялық шешуге батады.
Айналдыру және шашырату әдісі: Бұл әдіс шешуге арналған ерітіндіді айналдыру субстратына бүркуді қамтиды, Бақыланатын процесті қамтамасыз ету.

Ылғалмен алмастырудың артықшылықтары мен кемшіліктері

Артықшылықтары:

Қарапайымдылық: Аз күрделі жабдық қажет және оларды орнату оңай.
Төмен құны: Іске асыру және сақтау арзанырақ.
Ә маяғы: Көптеген материалдар үшін пайдалы және үлкенірек субстраларды өңдей алады.

Кемшіліктері:

Бағыттауды басқарудың болмауы: Нәтижелер изотропты ішу, бұл бүйір өлшемдерге әсер етуі мүмкін.
Баяндамау жылдамдығы: Әдетте, әдетте құрғақ иттер сияқты жылдам емес.
Нәтиже аз: Жақсы жасамау үшін өте ыңғайлы емес, Жоғары бағыттағыш-қатынас-қатынас құрылымдары.

2. Құрғақ ішу мен дымқыл иттердің айырмашылығы неде?

Алғашқы айырмашылық игеру үшін пайдаланылатын ортада және нәтижесінде пайда болған профильдер:

Құрғақ майлау әдетте анизотропты және вакуумдық ортадағы плазмалық немесе иондық сәулелерді субстраттан шығару үшін пайдаланады. Құрғақ ию профильдерден гөрі жақсы бақылауды қамтамасыз етеді, Мұны ұсақ бөлшектер мен жоғары дәлдікті қажет ететін қосымшалар үшін қолайлы ету.
Ылғал ішу изотропикалық, Сұйық химиялық заттарды қолдану, және барлық бағыттар бойынша біркелкі алып тастау қажет болатын қосымшаларға қолайлы. Ылғал ішу, әлдеқайда үнемді, жоғары дәлдікке ие және жоғары дәлдік маңызды емес қосымшаларға қолайлы.

3. Эцена әдісін таңдау кезіндегі факторлар

Эцена әдісін таңдау кезінде, Берілген қолдану үшін ең жақсы нәтижелерді қамтамасыз ету үшін бірнеше факторларды ескеру қажет. Оларға:

Таңдау

Selectantish егер басқа материалды салыстырмалы түрде әсер ете отырып, бір материалды алып тастау қабілетіне жатады. Көп қабатты материалдармен жұмыс істеу кезінде өте таңғыш зат өте маңызды, басқа қабаттарды басқаларға зиян тигізбестен алып тастау қажет. мысалы, жартылай өткізгішті жасау.

Айқындар

Айтып алу жылдамдығы - бұл бірлікке арналған материалдың қалыңдығы. Бұл үшін синоним - бұл жылдамдық. Операторлар мұны минутына нанометрлермен өлшейді (nm / min) немесе минутына микрометрлер (мкм / мин). Материал алынып тасталған мөлшерлеме процестің тиімділігіне әсер етуі мүмкін. Жоғары көлемді өндіріс үшін жылдам этиканың жылдамдығы қажет болуы мүмкін, Бірақ бұл дәл және бақылау қажеттілігіне қарсы болуы керек.

Біркелкілікті қабылдау

Біркелкілік барлық бетіне сәйкес келетінін қамтамасыз етеді. Бұл әсіресе өлшемді дәлдік өте маңызды, мысалы, микроэлектрондық құрылғылар өндірісіндегідей.

Басқа пікірлер

Изотропты игеру: Бұл лекцияның бұл түрі барлық бағыттарда біркелкі кетеді, Дөңгелектелген немесе астындағы белгілерді жасауға жарамды. Дегенмен, Бұл нәтиже дәл емес, және оның дәлдігі жойылмайтын қабаттарда астарлықтарды тудыруы мүмкін.
Анизотропты игеру: Бұл әдіс материалды перпендикуляр бағытқа іріктеледі, Тік қабырғалар мен терең траншеяларды құруға мүмкіндік береді. Бұл субстратқа дөңгелек үлгілерді құрудағы функциялардың дәлдігі мен функциялары.

4. Құрғақ иттерді және дымқыл ішуді қолдану

Құрғақ және дымқыл майлау әртүрлі салаларда кеңінен қолданылады, электроника индустриясы үлкен болып табылады. Олар сонымен қатар жиі қолданылады өңдеу, мұнда көптеген машиналар осы әдістерді ETCH логотиптері мен дизайнына қолданады. Мұндай қосымшалардың мысалдары кіреді:

Жартылай өткізгіштер: Құрғақ кремсон вафлидеріндегі күрделі үлгілерді жасау үшін құрғақ ішу кеңінен қолданылады, Ылғалмен жуу кезінде микожина үшін жұмыс істейді.
PCB Eching: Ылғалды майлау көбінесе баспа схемасы үшін қолданылады (Тұлға) Шығындар мен қарапайымдылыққа байланысты өндіріс.
Оптикалық құралдарды өндіру: Екі әдісті дәлдік пен күрделілікке қатысты нақты талаптарға сәйкес пайдалануға болады, және әртүрлі оптикалық аспаптар өндірісінде қолданылады (мысалы, камералар, шығарғыштар, саңылаулар, т.б.).
Өлшеу құралдарын өндіру: Технологиялар дәл өлшемдері мен төзімділігі бар компоненттерді өндіру үшін қажет. Құрғақ креатинг көбінесе алдыңғы қатарлы өлшеу құралдарындағы дәлдікке арналған микро-компоненттерді өндірудің алғашқы таңдауы болып табылады ( мысалы, штамм өлшеуіштер, Галванометр айналар жақтаулары, Электрлік байланыстар және терминалдар, т.б.).

5. Қорытынды

Құрғақ дюймді және дымқыл ішу арасында таңдау қосымшаның нақты талаптарына байланысты, мысалы, дәлдік, құны, өткізу қабілеті. Құрғақ креатинг жоғары дәлдікті қолдануға өте ыңғайлы, Ылғал алу кезінде үлкен мөлшерде қолайлы, Шығындар-тиімді өндіріс. Осы әдістердің арасындағы айырмашылықтарды түсіну өндірушілер мен инженерлерге олардың қажеттіліктері үшін ең жақсы тәсілді таңдауға көмектеседі.

Мазмұнға сілтеме：https://en.wikipedia.org/wiki/ching

6. ЖҚС

Q: Қайсысын таңдау әдісі жақсы таңдау болып табылады: Құрғақ кремді немесе дымқыл ішу?

А: Таңдау қосымшаның нақты талаптарына байланысты. Құрғақ мөлшерде дәлдікке ие, олар анизотропты илеу және тамаша бақылау қажет болатын жоғары дәлдікке ие болады, мысалы, жартылай өткізгішті жасау. Ылғалды майлау изотропты өлшейтін және қарапайым қолдануға жарамды, Шығындарды тиімді орнату, мысалы, кейбір ПХД өндірістік процестеріндегі.

Q: Екі протинг процестерінің қайсысы қол жетімді?

А: Ылғал алу, әдетте, қарапайым қондырғылармен және пайдалану шығындарына байланысты қол жетімді. Құрғақ жуу жабдығы қымбатырақ және бақыланатын вакуумдық ортаға қажет, ол жалпы құнға қосады. Дегенмен, Шығындар тиімділік өндіріс көлеміне және қажетті мөлшеріне байланысты өзгеруі мүмкін.

Q: Лазерді игеру мен лазерлік гравюралардың айырмашылығы неде?

А: Лазерді игеру әдетте дизайн немесе мәтін құру үшін бетінен материалды шығару процесіне қатысты, Көбінесе таңбалау үшін. Лазерлік гравюра, басқа жақтан, тереңірек және материалдың ішінде ауыр аймақты жасайды, көбінесе тұрақты таңбалау немесе безендіру үшін қолданылады.

Q: Ылғалдандыра алады, ал анизотропты?

А: Ылғал алу кезінде изотропты жатады, Кейбір әдістерді анизотропты көбірек жасау үшін қолдануға болады. Мысалы, Температуралық градиенттерді немесе арнайы этчен қоспаларын қолдану әр түрлі бағыттардағы лекция деңгейіне әсер етуі мүмкін. Дегенмен, Құрғақ салыстыруға мүмкіндік беретін шынайы анизотропияға қол жеткізу қиын болып қалады.